PDMS全称聚二甲基硅氧烷，这种材料具有优秀的生物相容性、柔韧性、热稳定性、光学透明性、透气性、低成本、耐腐蚀性等特点，所以通常用于生物医学装置、微流体系统、膜、电子元件、传感器。PDMS被认为是微流体装置的最佳选择，它因在诊断工具、芯片器官系统和芯片实验室设备中的应用而闻名。，PDMS的其他应用包括细胞培养、单细胞分析、药物化合物的合成和核酸的扩增。然而，PDMS具有低极性，因为其结构包含甲基，这种化学基团使得PDMS很难与分子或液体结合。 解决这一问题的方法是，用等离子清洗机氧等离子体处理PDMS，使其表面活化提高亲水性。
PDMS表面活化是为了改善PDMS与其他材料表面结合或附着。 等离子体处理从用氧等离子体氧化其表面开始，以消除所有杂质。这个等离子体过程在PDMS表面产生并沉积了一种特殊的化学基团，称为硅烷醇。 这种化学基团增加了PDMS的润湿潜力，增加了它与其他材料的结合强度。 表面活化瓦解了PDMS结构中现有的甲基，代之以增加其极性的基团。 该官能团与PDMS表面分子结合，可去除有机和无机污染物。 表面能是决定特定材料更亲水还是更疏水的另一个因素。 等离子体的活化处理通过重新排列其分子来提高表面能，从而增强了PDMS的润湿潜力。
氧等离子体对PDMS的处理给微流体装置带来了巨大的进步。它确保了用于诊断化验的微流体芯片的增强结合，这意味着高质量的设备和更安全的医疗程序。如今，用等离子体处理过的微流体装置表现得更好，微流体通道和层中提供了更好的密封、耐久性和精度。
在生物技术上， 经等离子体处理的PDMS改善了片上器官和组织工程应用中的粘附性。在制药行业， PDMS分子的重排使表面能和润湿势的增加，等离子增强PDMS保证了药物输送系统和分析仪器的可靠结合。另外，等离子体清洗技术属于环保科技，因为它不使用化学品。与使用有毒化学物质的传统清洁方法不同，等离子体使用活性物质来增强表面特性，也不会留下任何化学废物。
