等离子清洗机等离子表面处理机等离子刻蚀机，等离子气相沉积设备-深圳市方瑞科技有限公司

设备采用PLC+触摸屏控制，操作简单易维护，产品主要适用于小规模生产、科学实验；腔体材质采用316不锈钢、进口铝合金材质，耐腐蚀，腔体可以根据客户产品需求定制；进口针阀精密流量控制计，两路工艺反应气体通道；独特的电极结构，确保等离子体的均匀性； GD-5 40KHz/13.56MHz AC220V(±10V)

PECVD是半导体行业中常用的一种薄膜沉积技术，用于生产高质量的薄膜层，如介电层、低k介质材料等，这些薄膜对于提高半导体器件的性能和可靠性至关重要。在光电子器件的生产中，PECVD技术被用于沉积高质量的介电薄膜和光学薄膜，以制造激光器、光学调制器、光纤传感器等器件。PECVD也被用于硅基光电子器件的生产，这些器件在光通信和集...

1、非接触式结构避免材料损伤。超声波可打破空气粘滞层，彻底清除极小颗粒（1.6um以上）的灰尘。2、从除尘单元吹出的气流得到充分的应用，控制了整个气流和真空，从而保证了持续的清除性能不受材料厚度的影响。3、高效的气流控制，一些低压气流也能得到应用，减小了损耗。4、闭环系统不会破坏生产车间（洁净室）的气流平衡。5、不需要高额的消...

可与客户生产线联机实现自动化生产；可选配多重类型喷嘴，使用范围广泛；使用压缩空气或氮气；喷嘴采用无皮带式静音结构；采用低温等离子冷弧放电技术；安全环保不产生任何污染物； PM-V84 18-25KHz AC220V(±10V)

小型等离子模组，可根据产品的规格定做，应用于各种材料表面清洁、活化等；不分处理对象的基材类型，如金属、塑料、玻璃、高分子材料等均可进行处理；可与生产线结合连续操作；成本低效率高，全程干燥处理不产生任何污染物； FR-L235 13.56MHz AC220V(±10V)

可应用于液晶面板行业 STN/TFT/OLED/LTPS、触控面板、光电元件、PCB/FPC行业、太阳能行业、触控面板行业，以及电子元件封装贴合前清洁、 LED封装等等 DL-600 最大宽度560mm 氮化硅刻蚀AC220V(±10V)

可应用于粘接、底部填充、定点灌封、表面贴装、检测试纸的喷涂、邦定、芯片固晶、封装倒扣、精密涂覆、定堆栈封装POP、密封等工艺点胶平台自主控制系统AC220V(±10V)

新能源

等离子清洗机在新能源行业领域中的应用广泛且重要。以下是一些主要的应用场景：电池制造：在新能源电池（如锂离子电池、燃料电池等）的制造过程中，等离子清洗机能够去除电池材料表面的污染物，如油脂、尘埃、有机溶剂残留等。这有助于改善电池的性能，如提高电池的容量、循环寿命和安全性。

电池制造

电池芯表面处理

封装前的预处理

设光伏电池制造

太阳能电池板清洗

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半导体

等离子清洗机在半导体行业领域中的应用非常广泛，主要体现在以下几个方面：封装材料清洗：在半导体封装过程中，芯片表面经常会沾染各种污渍，如氧化物等。等离子清洗机可用于清洗封装材料，如塑料、陶瓷等，去除表面的油污和杂质，提高封装材料的粘附性和可靠性，在芯片封装完成后。

封装材料清洗

封装后处理

去除光刻胶残留物

设备预处理

金属清洗

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生物医疗

等离子清洗机在生物医疗领域中的应用十分广泛，其利用等离子体的特殊性质，能够实现对生物材料、医疗器械以及实验设备等的有效清洗和表面处理，从而提升这些物品的性能和安全性。以下是等离子清洗机在生物医疗领域中的一些主要应用。医疗器械清洗：等离子清洗机可用于清洗医疗器械，如手术器械、植入式医疗器械等，以去除器械表面的残留物、有机物、氧化物和杂质等。

医疗器械清洗

生物材料表面处理

细胞培养实验器皿清

生物医学研究实验室设备清洗

医疗器械表面活化处理

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航天航空

等离子清洗机在航天航空领域的应用主要体现在材料表面处理、精密部件处理、复合材料处理以及环保与可持续性等方面。这些应用不仅提高了航空航天产品的性能和质量，还促进了行业的绿色发展和可持续发展。对于航空航天领域中的精密部件，如电连接器、传感器等，等离子清洗机可以在不损伤部件表面的前提下，有效去除污垢和杂质，并增强部件表面的活性，这有助于提高部件的耐压值、抗拉能力和耐腐蚀性。

去除脱模剂残留

材料表面处理

精密部件表面活化

绝缘体和封线体粘接

复合材料涂覆前处理

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等离子清洗机

GD-5小型等离子清洗机

等离子刻蚀机与沉积设备

PECVD等离子化学气相沉积设备

USC干式超声波除尘清洗机

USC干式超声波除尘清洗机

等离子表面处理机

PM-V84旋转大气等离子表面处理机

宽幅等离子处理机

FR-L235线型等离子清洗机

在线式自动清洗机

DL-600在线往复式等离子表面处理机

辅助配件

点胶机点胶平台